Inorganic Chemistry
Article
(
l) Chen, T.; Cameron, T. M.; Nguyen, S. D.; Stauf, G. T.; Peters, D.
A.; McElwee-White, L. Inorg. Chem. 2006, 45, 263. (x) Banerjee, M.;
Srinivasan, N. B.; Zhu, H.; Kim, S. J.; Xu, K.; Winter, M.; Becker, H.-
W.; Rogalla, D.; de los Arcos, T.; Bekermann, D.; Barreca, D.; Fischer,
R. A.; Devi, A. Cryst. Growth Des. 2012, 12, 5079. (y) Blanquart, T.;
Niinisto, J.; Aslam, N.; Banerjee, M.; Tomczak, Y.; Gavagnin, M.;
Longo, V.; Puukilainen, E.; Wanzenboeck, H. D.; Kessels, W. M. M.;
Devi, A.; Hoffmann-Eifert, S.; Ritala, M.; Leskela, M. Chem. Mater.
2013, 25, 3088. (z) Kim, S. J.; Xu, K.; Parala, H.; Beranek, R.;
Bledowski, M.; Sliozberg, K.; Becker, H.-W.; Rogalla, D.; Barreca, D.;
Maccato, C.; Sada, C.; Schuhmann, W.; Fischer, R. A.; Devi, A. Chem.
Vap. Deposition 2013, 19, 45.
(13) For reviews on guanidinate complexes, see, for example, the
following: (a) Bailey, P. J.; Pace, S. Coord. Chem. Rev. 2001, 214, 91.
(b) Edelmann, F. T. Adv. Organomet. Chem. 2008, 57, 183. (c) Zhang,
W.-X.; Hou, Z. Org. Biomol. Chem. 2008, 6, 1720. (d) Jones, C. Coord.
Chem. Rev. 2010, 254, 1273. (e) Edelmann, F. T. Struct. Bonding
(Berlin) 2010, 137 (Molecular Catalysis of Rare-Earth Elements), 109.
(f) Li, T.; Jenter, J.; Roesky, P. W. Struct. Bonding (Berlin) 2010, 137,
W.; Maylott, L.; Li, W.; Xu, C.; Roeder, J. F.; Hendrix, B. C.; Hilgarth,
M.; Niinisto, J.; Kukli, K.; Ritala, M.; Leskela, M. ECS Trans. 2008, 16,
8
2
Hradsky, B.; Gregory, R.; Kulik, J.; Duda, E.; Contreras, L.;
Christiansen, J.; Zollner, S.; Tobin, P.; Nguyen, B.-Y.; Nieh, R.;
Ramon, M.; Rao, R.; Hegde, R.; Rai, R.; Baker, J.; Voight, S. J.
Electrochem. Soc. 2003, 150, F67. (o) Woods, J. B.; Beach, D. B.;
Nygren, C. L.; Xue, Z.-L. Chem. Vap. Deposition 2005, 11, 289.
7. (m) Lee, S.; Kim, W.-G.; Rhee, S.-W.; Yong, K. J. Electrochem. Soc.
008, 155, H92. (n) Schaeffer, J.; Edwards, N. V.; Liu, R.; Roan, D.;
(
1
p) Lehn, J.-S.; Javed, S.; Hoffman, D. M. Chem. Vap. Deposition 2006,
2, 280. (q) Chiu, H.-T.; Wang, C.-N.; Chuang, S.-H. Chem. Vap.
Deposition 2000, 6, 223. (r) Wiedmann, M. K.; Heeg, M. J.; Winter, C.
H. Inorg. Chem. 2009, 48, 5382.
(
11) For CVD of metal oxides using water, see, for example:
a) Dezelah, C. L., IV; Niinisto, J.; Kukli, K.; Munnik, F.; Lu, J.; Ritala,
M.; Leskela, M.; Niinisto, L. Chem. Vap. Deposition 2008, 14, 358.
b) Dezelah, C. L., IV; El-Kadri, O. M.; Szilagyi, I. M.; Campbell, J. M.;
Arstila, K.; Niinist’, L.; Winter, C. H. J. Am. Chem. Soc. 2006, 128,
(
(
9
1
638. (c) Majumder, P.; Jursich, G.; Takoudis, C. J. Appl. Phys. 2009,
05, 104106/1. (d) Consiglio, S.; Clark, R. D.; Nakamura, G.; Wajda,
C. S.; Leusink, G. J. J. Vacuum Sci. Technol., A 2012, 30, 01A119/1.
e) Tao, Q.; Kueltzo, A.; Singh, M.; Jursich, G.; Takoudis, C. G. J.
(
(14) (a) Chandra, G.; Jenkins, A. D.; Lappert, M. F.; Srivastava, R. C.
J. Chem. Soc. A 1970, 2550. (b) Aeilts, S. L.; Coles, M. P.; Swenson, D.
C.; Jordan, R. F.; Young, V. G. Organometallics 1998, 17, 3265.
(c) Tin, M. K. T.; Yap, G. P. A.; Richeson, D. S. Inorg. Chem. 1998, 37,
6728. (d) Decams, J. M.; Hubert-Pfalzgraf, L. G.; Vaissermann, J.
Polyhedron 1999, 18, 2885. (e) Wood, D.; Yap, G. P. A.; Richeson, D.
S. Inorg. Chem. 1999, 38, 5788. (f) Giesbrecht, G. R.; Whitener, G. D.;
Arnold, J. Organometallics 2000, 19, 2809. (g) Bailey, P. J.; Grant, K. J.;
Mitchell, L. A.; Pace, S.; Parkin, A.; Parsons, S. Dalton Trans. 2000,
1887. (h) Duncan, A. P.; Mullins, S. M.; Arnold, J.; Bergman, R. G.
Organometallics 2001, 20, 1808. (i) Soria, D. B.; Grundy, J.; Coles, M.
P.; Hitchcock, P. B. Polyhedron 2003, 22, 2731. (j) Cotton, F. A.;
Hillard, E. A.; Murillo, C. A.; Wang, X. Inorg. Chem. 2003, 42, 6063.
(k) Pang, X.-A.; Yao, Y.-M.; Wang, J.-F.; Sheng, H.-T.; Zhang, Y.;
Shen, Q. Chin. J. Chem. 2005, 23, 1193. (l) Guiducci, A. E.; Boyd, C.
L.; Mountford, P. Organometallics 2006, 25, 1167. (m) Hirotsu, M.;
Fontaine, P. P.; Zavalij, P. Y.; Sita, L. R. J. Am. Chem. Soc. 2007, 129,
12690. (n) Shen, H.; Chan, H.-S.; Xie, Z. J. Am. Chem. Soc. 2007, 129,
12934. (o) Zhou, M.; Zhang, S.; Tong, H.; Sun, W.-H.; Liu, D. Inorg.
Chem. Commun. 2007, 10, 1262. (p) Gott, A. L.; Clarkson, G. J.;
Deeth, R. J.; Hammond, M. L.; Morton, C.; Scott, P. Dalton Trans.
2008, 2983. (q) Cotton, F. A.; Ibragimov, S. A.; Murillo, C. A.;
Poplaukhin, P. V.; Zhao, Q. J. Mol. Struct. 2008, 890, 3. (r) Ren, S.;
Deng, L.; Chan, H.-S.; Xie, Z. Organometallics 2009, 28, 5749.
(s) Wasslen, Y. A.; Tois, E.; Haukka, S.; Kreisel, K. A.; Yap, G. P. A.;
Halls, M. D.; Barry, S. T. Inorg. Chem. 2010, 49, 1976. (t) Maddox, A.
F.; Erickson, K. A.; Tanski, J. M.; Waterman, R. Chem. Commun. 2011,
47, 11769. (u) Yonke, B. L.; Keane, A. J.; Zavalij, P. Y.; Sita, L. R.
Organometallics 2012, 31, 345. (v) Elorriaga, D.; Carrillo-Hermosilla,
F.; Antinolo, A.; Lopez-Solera, I.; Menot, B.; Fernandez-Galan, R.;
Villasenor, E.; Otero, A. Organometallics 2012, 31, 1840. (w) Fernan-
dez-Galan, R.; Antinolo, A.; Carrillo-Hermosilla, F.; Lopez-Solera, I.;
Otero, A.; Serrano-Laguna, A.; Villasenor, E. J. Organomet. Chem.
2012, 711, 35. (x) Jones, C.; Schulten, C.; Nembenna, S.; Stasch, A. J.
Chem. Crystallogr. 2012, 42, 866. (y) Fernandez-Galan, R.; Antinolo,
A.; Carrillo-Hermosilla, F.; Lopez-Solera, I.; Otero, A.; Serrano-
Laguna, A.; Villasenor, E. Organometallics 2012, 31, 8360. (z) Elorriaga,
D.; Carrillo-Hermosilla, F.; Antinolo, A.; Suarez, F. J.; Lopez-Solera, I.;
Fernandez-Galan, R.; Villasenor, E. Dalton Trans. 2013, 42, 8223.
(15) For lanthanide guanidinate complexes, see, for example, the
following: (a) Zhou, Y.; Yap, G. P. A.; Richeson, D. S. Organometallics
1998, 17, 4387. (b) Luo, Y.; Yao, Y.; Shen, Q.; Yu, K.; Weng, L. Eur. J.
Inorg. Chem. 2003, 318. (c) Zhang, J.; Cai, R.; Weng, L.; Zhou, X. J.
Organomet. Chem. 2003, 672, 94. (d) Zhang, J.; Yi, W.; Chen, Z.;
Zhou, X. Dalton Trans. 2013, 42, 5826. (e) Cao, Y.; Du, Z.; Li, W.; Li,
J.; Zhang, Y.; Xu, F.; Shen, Q. Inorg. Chem. 2011, 50, 3729.
(f) Trifonov, A. A.; Fedorova, E. A.; Fukin, G. K.; Bochkarev, M. N.
Electrochem. Soc. 2011, 158, G27. (f) Shi, X.; Tielens, H.; Takeoka, S.;
Nakabayashi, T.; Nyns, L.; Adelmann, C.; Delabie, A.; Schram, T.;
Ragnarsson, L.; Schaekers, M.; Date, L.; Schreutelkamp, R.; Van
Elshocht, S. J. Electrochem. Soc. 2011, 158, H69.
(
12) For the studies of guanidinate complexes as CVD/ALD
precursors, see, for example: (a) Wiedmann, M. K.; Heeg, M. J.;
Winter, C. H. Inorg. Chem. 2009, 48, 5382. (b) Edelmann, F. T. Chem.
Soc. Rev. 2009, 38, 2253. (c) Xu, K.; Milanov, A. P.; Parala, H.;
Wenger, C.; Baristiran-Kaynak, C.; Lakribssi, K.; Toader, T.; Bock, C.;
Rogalla, D.; Becker, H.-W.; Kunze, U.; Devi, A. Chem. Vap. Deposition
2
012, 18, 27. (d) Thiede, T. B.; Krasnopolski, M.; Milanov, A. P.; de
los Arcos, T.; Ney, A.; Becker, H.-W.; Rogalla, D.; Winter, J.; Devi, A.;
Fischer, R. A. Chem. Mater. 2011, 23, 1430. (e) Baunemann, A.;
Rische, D.; Milanov, A.; Kim, Y.; Winter, M.; Gemel, C.; Fischer, R. A.
Dalton Trans. 2005, 3051. (f) Hubert-Pfalzgraf, L. G.; Decams, J.-M.;
Daniele, S. J. Phys. IV 1999, 9, 953. (g) Carmalt, C. J.; Newport, A. C.;
O’Neill, S. A.; Parkin, I. P.; White, A. J. P.; Williams, D. J. Inorg. Chem.
2
005, 44, 615. (h) Xu, K.; Milanov, A. P.; Winter, M.; Barreca, D.;
Gasparotto, A.; Becker, H.-W.; Devi, A. Eur. J. Inorg. Chem. 2010,
679. (i) Whitehorne, T. J. J.; Coyle, J. P.; Mahmood, A.; Monillas, W.
H.; Yap, G. P. A.; Barry, S. T. Eur. J. Inorg. Chem. 2011, 3240.
j) Baunemann, A.; Winter, M.; Csapek, K.; Gemel, C.; Fischer, R. A.
1
(
Eur. J. Inorg. Chem. 2006, 4665. (k) Baunemann, A.; Bekermann, D.;
Thiede, T. B.; Parala, H.; Winter, M.; Gemel, C.; Fischer, R. A. Dalton
Trans. 2008, 3715. (l) Milanov, A.; Bhakta, R.; Baunemann, A.; Becker,
H.; Thomas, R.; Ehrhart, P.; Winter, M.; Devi, A. Inorg. Chem. 2006,
45, 11008. (m) Eleter, M.; Daniele, S.; Brize, V.; Dubourdieu, C.;
Lachaud, C.; Blasco, N.; Pinchart, A. ECS Trans. 2009, 25 (8,
EuroCVD 17/CVD 17), 151. (n) Carmalt, C. J.; Newport, A. C.;
O’Neill, S. A.; Parkin, I. P.; White, A. J. P.; Williams, D. J. Inorg. Chem.
2
005, 44, 615. (o) Devi, A.; Bhakta, R.; Milanov, A.; Hellwig, M.;
Barreca, D.; Tondello, E.; Thomas, R.; Ehrhart, P.; Winter, M.;
Fischer, R. Dalton Trans. 2007, 1671. (p) Chen, T.; Xu, C.; Baum, T.
H.; Stauf, G. T.; Roeder, J. F.; DiPasquale, A. G.; Rheingold, A. L.
Chem. Mater. 2010, 22, 27. (q) Coyle, J. P.; Monillas, W. H.; Yap, G. P.
A.; Barry, S. T. Inorg. Chem. 2008, 47, 683. (r) Potts, S. E.; Carmalt, C.
J.; Blackman, C. S.; Abou-Chahine, F.; Pugh, D.; Davies, H. O.
Organometallics 2009, 28, 1838. (s) Chen, T.; Hunks, W.; Chen, P. S.;
Stauf, G. T.; Cameron, T. M.; Xu, C.; Di Pasquale, A. G.; Rheingold,
A. L. Eur. J. Inorg. Chem. 2009, 2047. (t) Eleter, M.; Hubert-Pfalzgraf,
L. G.; Daniele, S.; Pilet, G.; Tinant, B. Polyhedron 2010, 29, 2522.
(
u) Milanov, A. P.; Xu, K.; Laha, A.; Bugiel, E.; Ranjith, R.; Schwendt,
D.; Osten, H. J.; Parala, H.; Fischer, R. A.; Devi, A. J. Am. Chem. Soc.
010, 132, 36. (v) Barry, S. T.; Gordon, P. G.; Ward, M. J.; Heikkila,
2
M. J.; Monillas, W. H.; Yap, G. P. A.; Ritala, M.; Leskelae, M. Dalton
Trans. 2011, 40, 9425. (w) Wilder, C. B.; Reitfort, L. L.; Abboud, K.
1
1420
dx.doi.org/10.1021/ic4016965 | Inorg. Chem. 2013, 52, 11409−11421